[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [17a-313-4] ハイドロフルオロカーボンガスプラズマの物性と絶縁膜エッチング特性に関する研究

〇武田 直己¹、張 彦¹、林 俊雄¹、関根 誠¹、竹田 圭吾¹、近藤 博基¹、石川 健治¹、堀 勝² (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構)

キーワード：プラズマ、絶縁膜エッチング