[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング

[17a-313-5] 高温での窒化ガリウム低損傷塩素エッチングに及ぼす添加ガス効果

〇今村 真人¹、劉 沢城¹、潘 佳林¹、谷出 敦³、石川 健治¹、竹田 圭吾¹、近藤 博基¹、小田 修¹、関根 誠¹、堀 勝² (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構、3.SCREENホールディングス)

キーワード：半導体、プラズマエッチング、窒化ガリウム