10:15 AM - 10:30 AM
△ [17a-313-6] Ag film etching by using halogen gas plasma
Keywords:Plasma Etching, Silver, Halogen gas
銀は、低抵抗材料として半導体デバイスへの適用が検討されているが、凝集や腐食を起こしやすい金属として知られている。本研究では、ハロゲンガスプラズマによる銀のエッチング特性を評価した。またIn-Situ XPS及びAFM測定を行い、大気暴露前の表面状態を観察した。