[17a-313-1~10] 8.4 プラズマエッチング

△ [17a-313-8] 第一原理計算による透明電極材料のエッチングにおける水素効果の解明

〇李 虎¹、Friederich Pascal²、Fink Karin²、Wenzel Wolfgang²、唐橋 一浩¹、深沢 正永³、長畑 和典³、辰巳 哲也³、浜口 智志¹ (1.阪大院工、2.カールスルーエ工科大、3.ソニー)

キーワード：透明電極材料、エッチング、第一原理計算

光電子デバイスの微細化の発展と共に、更なる微細加工が要求され、透明電極材料であるITOやZnOのエッチング反応機構の解明が必要となる。ビーム実験から水素イオン照射により、水素含有層が形成され、エッチング反応に促進効果を与えることが明らかになった。今回は、水素含有層の形成とエッチングメカニズムの理解を目指し、第一原理計算を行った。その結果から、水素が入ることにより、OHの形成と共に、ZnとO原子が容易にスパッタされることが分かった。