2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2017年3月17日(金) 09:00 〜 13:00 315 (315)

荻野 明久(静岡大)、市來 龍大(大分大)

09:00 〜 09:15

[17a-315-1] DCメタンプラズマによるナノダイヤモンド合成に及ぼすシースの効果

小林 友樹1、内田 和希1、縄田 悠人2、内藤 正路1、碇 智徳3、長井 達三4、生地 文也4 (1.九工大生命体、2.九工大工、3.宇部高専、4.九州共立大研)

キーワード:ナノダイヤモンド、シース

これまで、メタン/水素混合ガスを原料とした低温プラズマを鉛直方向に柱状化し、これを高温Siウエハー表面に照射するとダイヤモンドが形成されることを報告してきた。今回は、プラズマシースにおけるナノダイヤモンド粒子の合成と、その粒子合成におけるシースの効果について検討した。