[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [17a-315-1] DCメタンプラズマによるナノダイヤモンド合成に及ぼすシースの効果

〇小林 友樹¹、内田 和希¹、縄田 悠人²、内藤 正路¹、碇 智徳³、長井 達三⁴、生地 文也⁴ (1.九工大生命体、2.九工大工、3.宇部高専、4.九州共立大研)

キーワード：ナノダイヤモンド、シース

これまで、メタン/水素混合ガスを原料とした低温プラズマを鉛直方向に柱状化し、これを高温Siウエハー表面に照射するとダイヤモンドが形成されることを報告してきた。今回は、プラズマシースにおけるナノダイヤモンド粒子の合成と、その粒子合成におけるシースの効果について検討した。