[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-12] スパッタ支援層交換で作製したポリイミド基板上結晶Ge薄膜の膜質

〇白谷 正治¹、田浪 荘汰¹、坂本 大輔¹、張 博辰¹、徐 鉉雄¹、山下 大輔¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹ (1.九大)

キーワード：スパッタ支援層交換、ポリイミド基板、Ge薄膜