2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2017年3月17日(金) 09:00 〜 13:00 315 (315)

荻野 明久(静岡大)、市來 龍大(大分大)

12:45 〜 13:00

[17a-315-15] 大気圧ペン型プラズマによるDLCの局所成膜Ⅱ

吉木 宏之1、丸藤 好恭1、須藤 悠平1 (1.鶴岡高専)

キーワード:ダイヤモンド状炭素膜、大気圧マイクロプラズマ、化学気相成長

注射針電極をRF励起して大気圧非平衡プラズマ流を生成するペン型プラズマ源を用いて、He/CH4/H2プラズマでDLC局所成膜を前回の報告に引き続き試みている。本研究では、プラズマガスへのH2添加と基板温度のDLC膜の表面形状や構造への影響を調べた。H2添加量増加と基板温度200℃の時、膜厚0.4μm、表面硬さ17.2 GPaを得た。