[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-15] 大気圧ペン型プラズマによるDLCの局所成膜Ⅱ

〇吉木 宏之¹、丸藤 好恭¹、須藤 悠平¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：ダイヤモンド状炭素膜、大気圧マイクロプラズマ、化学気相成長

注射針電極をRF励起して大気圧非平衡プラズマ流を生成するペン型プラズマ源を用いて、He/CH₄/H₂プラズマでDLC局所成膜を前回の報告に引き続き試みている。本研究では、プラズマガスへのH₂添加と基板温度のDLC膜の表面形状や構造への影響を調べた。H₂添加量増加と基板温度200℃の時、膜厚0.4μm、表面硬さ17.2 GPaを得た。