[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [17a-315-3] パルスアークジェットを用いたダイヤモンドライクカーボン膜の形成

〇藤田 至¹、近藤 勇樹¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、権田 英修² (1.豊橋技科大、2.オーエスジー)

キーワード：DLC、パルスアークジェット、プラズマ

機能性膜として，DLC（Diamond-Like Carbon）膜は広く利用されている。従来のDLC成膜方法では，成膜速度が数nm/min～数100 nm/minであり，大量生産には多大な時間が必要となる。本研究では， パルスアークジェット（Pulsed Arc Jet）を用いたDLC成膜装置を試作し，試作装置の放電特性評価，および成膜を行った。成膜した膜のラマンスペクトルは，D(1360 cm^-1)バンドとGバンド(1580 cm^-1)を混合したDLCの典型的なスペクトルを示した。