[17a-315-1~15] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[17a-315-9] RFマグネトロンスパッタリング法で作製した(ZnO)_x(InN)_1-x膜のフォトルミネッセンス

松島 宏一¹、〇宮原 奈乃華¹、岩崎 和也¹、山下 大輔¹、徐 鉉雄¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九大)

キーワード：酸窒化インジウム亜鉛、スパッタリング、フォトルミネッセンス