[17a-502-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17a-502-8] 電気化学インピーダンス法を用いた
SnO₂ ガスセンサの感度および電荷空乏層の振る舞いの定量分析

〇田沼 涼¹、杉山 睦¹ (1.東理大　理工/総研)

キーワード：ガスセンサ、電気化学インピーダンス法