[17a-503-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-503-5] スパッタ法AlN膜の高温アニールとHVPE法によるホモエピ成長

〇劉 怡康¹、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹、岩谷 素顕³、赤崎 勇³ (1.三重大工、2.三重大院・地域イノベ、3.名城大・理工)

キーワード：AlN　アニール　ホモエピ