[17a-F204-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[17a-F204-7] 非対称方向性結合器型Si集積偏波分離・回転素子の設計・試作

〇谷澤 健¹、鈴木 恵治郎¹、河島 整¹、池田 和浩¹ (1.産総研)

キーワード：偏波分離・回転

Si光回路の高機能化に向け，III-V族化合物や磁性材料等とのハイブリッド集積が着目されている ．材料や機能に応じて適切な偏波が異なるため，チップ上で偏波の操作を行う偏波分離・回転素子が重要である．本稿では，220nmの厚のSi細線導波路を基本とし，導波路上下の非対称を上部クラッドを除去したエアー型，リブ導波路構造を採用したリブ型，そして導波路の直上にSiNを配するSiN装荷型で実現する3種のPSRの設計を報告する．また，エアー型について試作結果を示す．