[17p-304-1~15] CS.2 6.1強誘電体薄膜,13.3絶縁膜技術,13.5デバイス／集積化技術のコードシェア

[17p-304-3] 強誘電体クロコン酸薄膜のYb界面制御層上への形成

〇張 鴻立¹、前田 康貴¹、大見 俊一郎¹ (1.東工大　工学院)

キーワード：有機強誘電体、クロコン酸、Yb

これまで、我々は強誘電体クロコン酸薄膜のSiO₂/Si(100)基板上への形成に関する検討を行い、C-V特性において分極型のヒステリシスが得られることを報告した。今回、クロコン酸薄膜をYb界面制御層上に形成し、堆積温度に関する検討を行ったので報告する。