[17p-304-1~15] CS.2 6.1強誘電体薄膜,13.3絶縁膜技術,13.5デバイス／集積化技術のコードシェア

[17p-304-5] ZnOナノワイヤ上への(Hf,Zr)O₂薄膜の作製

〇(B)竹内 洋平¹、仲村 菜美¹、藤沢 浩訓¹、中嶋 誠二¹、清水 勝¹ (1.兵庫県立大・工)

キーワード：(Hf,Zr)O2、ZnO、ナノワイヤ