[17p-P3-1~22] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-P3-21] GaN両極性同時MOVPE法における狭ピッチパターン形成プロセスの検討

〇八木 裕隆¹、大隅 紀之¹、井上 翼¹、中野 貴之¹ (1.静大院工)

キーワード：MOVPE、極性、選択成長