16:00 〜 18:00 [18p-PB3-82] NaClアシストによるH2SとWF6原料を用いた原子層WS2のCVD合成 〇岡田 光博1、岡田 直也1、張 文馨1、安藤 淳1、入沢 寿史1 (1.産総研)