[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン（ポスター）

[18p-PB3-82] NaClアシストによるH₂SとWF₆原料を用いた原子層WS₂のCVD合成

〇岡田 光博¹、岡田 直也¹、張 文馨¹、安藤 淳¹、入沢 寿史¹ (1.産総研)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、CVD

WS₂等の原子層遷移金属ダイカルコゲナイドを得る手法として、CVD法が広く知られている。既存の手法では、原料に金属酸化物・硫黄といった固体原料を用いるのが一般的であるが、これら固体原料は供給の制御性が低く、再現性が低いという問題点があった。そこで本研究では、塩化ナトリウムアシストと気体原料であるH₂S・WF₆を用いたWS₂のCVD合成を行い、原子層WS₂を得ることに成功したので報告する。