10:00 〜 10:15 [19a-224A-3] β-Ga2O3 MOSフォトダイオードの内部電界評価 〇橋川 誠1、富澤 三世1、佐々木 公平2、倉又 朗人2、大石 敏之1、大島 孝仁1 (1.佐賀大学、2.タムラ製作所&ノベルクリスタルテクノロジー)