17:45 〜 18:00 [19p-CE-14] 高温でイオン注入されたGaN基板のTEMによる欠陥評価(2) 〇前川 順子1、川野輪 仁1、青木 正彦1、高廣 克己2、一色 俊之2 (1.1.㈱イオンテクノセンター、2.2.京都工芸繊維大学)