09:30 〜 11:30 [20a-PA1-10] ヘキサメチルジシラザンの解離フラグメントによる低エネルギーケイ素分子イオンビームの生成 〇吉村 智1、杉本 敏司1、竹内 孝江2、村井 健介3、木内 正人3,1 (1.阪大工、2.奈良女大、3.産総研)