11:00 〜 11:15 [21a-235-5] ポリマーブレンドのEUV顕微観察に適した試料準備条件 〇(M1)相澤 駿介1、角館 俊行1、権代 詩織1、豊田 光紀1,2 (1.東北大多元研、2.東京工芸大工)