15:45 〜 16:00 △ [20p-223-5] ALD による超薄膜Pt 中間層を用いたCu-Cu 低温疑似直接接合 〇(DC)桑江 博之1、山田 紘右1、上林 拓海1、百瀬 渉2、庄子 習一1、水野 潤1 (1.早稲田大学、2.ALDジャパン)