18:15 〜 18:30 △ [19p-438-17] ピコニュートン力の計測に向けたMEMS用レーザー変位計の開発(2) 〇(D)紫垣 政信1、田中 嘉人1,2、佐藤 隆昭1、志村 努1 (1.東大生研、2.JST さきがけ)