16:00 〜 18:00 [19p-PB7-4] 熱処理による結晶シリコン基板上へのシリコンゲルマニウム傾斜層の作製(2) 〇(M2)RASHID NORRASHIDAH1、モハンマド フアド モハンマド ファリス2、廣瀬 天良2、金子 哲也1,2、磯村 雅夫1,2 (1.東海大院工、2.東海大工)