10:45 〜 11:00 △ [20a-225B-7] 原子層堆積法による窒化チタンナノシリンダーアレイの耐熱性誘電体被覆と熱酸化抑制 〇(M1)呉屋 伸哉1、村井 俊介1、藤田 晃司1、田中 勝久1 (1.京大院工)