09:45 〜 10:00 [18a-233-2] SiC膜表面の脱イオン水洗浄による球状粒子形成に対する表面状態の影響 〇田原 絵梨1、藤田 徹1、井上 健剛1、田中 正勝1、保木 力也1、井谷 直毅1、森 年史1 (1.三重富士通セミコンダクター)