14:15 〜 14:30
〇加瀬 雅1、田中 宏幸1,3、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)
加瀬 雅
発表者・著者、共著者
2018年9月21日(金) 13:00 〜 16:45 233 (233)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年9月21日(金) 13:00 〜 16:45 233 (233)
14:15 〜 14:30
〇加瀬 雅1、田中 宏幸1,3、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構、3.SPPテクノロジーズ)