09:30 〜 09:45 [18a-222-3] 2ステップ絶縁破壊によるナノポア形成-薄膜部分の形成と該部分の貫通によるナノポア形成- 〇柳 至1、濱村 浩孝1、赤堀 玲奈1、武田 健一1 (1.日立研開)