09:45 〜 10:00 [18a-224B-4] 保護膜を通したフォーミングガスアニールによるスパッタMoS2 膜の結晶性改善 〇五十嵐 智1、松浦 賢太朗1、濱田 昌也1、谷川 晴紀1、坂本 拓朗1、宗田 伊理也1、角嶋 邦之1、筒井 一生1、若林 整1 (1.東工大)