10:30 〜 10:45
〇渡部 善幸1、矢作 徹1、阿部 泰1、村山 裕紀1、九里 伸治2、吉田 賢一2、指田 和之2、新井 大輔2、池田 克弥2 (1.山形工技セ、2.新電元)
渡部 善幸
発表者・著者、共著者
2018年9月18日(火) 09:30 〜 12:00 233 (233)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年9月18日(火) 09:30 〜 12:00 233 (233)
10:30 〜 10:45
〇渡部 善幸1、矢作 徹1、阿部 泰1、村山 裕紀1、九里 伸治2、吉田 賢一2、指田 和之2、新井 大輔2、池田 克弥2 (1.山形工技セ、2.新電元)