10:45 〜 11:00
〇中島 英亮1、Tso-Fu Mark Chang1、Chun-Yi Chen1、山根 大輔1、小西 敏文2、町田 克之1、年吉 洋3、伊藤 浩之1、益 一哉1、曽根 正人1 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大)
中島 英亮
発表者・著者、共著者
2018年9月18日(火) 09:30 〜 12:00 233 (233)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年9月18日(火) 09:30 〜 12:00 233 (233)
10:45 〜 11:00
〇中島 英亮1、Tso-Fu Mark Chang1、Chun-Yi Chen1、山根 大輔1、小西 敏文2、町田 克之1、年吉 洋3、伊藤 浩之1、益 一哉1、曽根 正人1 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大)