今泉文伸

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発表者・著者、共著者

2018年9月18日(火) 09:30 〜 12:00 233 (233)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[18a-233-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

11:00 〜 11:15

[18a-233-7] 3軸加速度センサのばらつきと測定温度依存性

〇今泉文伸¹、柳田幸祐 (1.小山高専)