13:30 〜 15:30 [19p-PA2-6] XeF2気相エッチングにより製作した微生物細胞捕獲用Siマイクロ凹面鏡の集光実験 〇松谷 晃宏1、佐藤 美那1、長谷部 浩一1、髙田 綾子2 (1.東工大マイクロプロセス、2.東工大バイオ)