16:00 〜 18:00 [18p-PA5-23] 有機薄膜トランジスタのゲート絶縁膜表面処理法としてのプラズマ窒化処理効果の評価 〇松下 晟士1、水口 慶一郎1、堀 加太斗1、岩崎 好孝1、上野 智雄1 (1.農工大工)