13:30 〜 15:30 △ [18p-PB2-3] MEMS加速度センサにおける時間ドメイン容量検出回路の統合設計モジュールの検討 〇折原 恒祐1、古賀 達也1、道正 志郎1、伊藤 浩之1、山根 大輔1、小西 敏文2、飯田 慎一2、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1 (1.東京工業大学、2.NTT-AT)