16:00 〜 18:00 [18p-PB3-47] ALD-Al2O3を用いた横型グラフェントンネルダイオードの作製 〇志賀 佳菜子1、菅原 健太2、佐藤 昭2、吹留 博一2、尾辻 泰一2、内野 俊1 (1.東北工大、2.東北大通研)