16:00 〜 18:00 [18p-PB3-55] ALD-Al2O3膜をゲート絶縁膜に用いた転写フリーグラフェンFETの作製 〇(M1)小林 幹1、ドルジダウガ ビルグーン1、久保 俊晴1、三好 実人1、江川 孝志1 (1.名工大工)