11:45 〜 12:00 [19a-311-11] 層状物質 NbSe2劈開膜の微細加工が伝導特性に与える影響 I: 反応性イオンエッチング 〇(M2)星 直樹1、矢部 大輔1、友利 ひかり1、渡邊 賢司2、谷口 尚2、神田 晶申1 (1.筑波大数理物質、2.物材機構)