09:30 〜 11:30 [19a-PA4-10] SiCパワーデバイス製造用レーザードーピングシステムの開発 〇菊地 俊文1,2、妹川 要1,2、池田 晃裕3、中村 大輔1、浅野 種正1、池上 浩1,2 (1.九大シス情、2.九大ギガフォトン共同部門、3.崇城大学 情報学科)