13:30 〜 15:30 [19p-PA2-4] 振動する圧電素子につながれたSi基板の熱起電力 〇(M1)内藤 琴武1,2、鈴木 悠平1,2、早川 泰弘1,2、下村 勝1、村上 健司1、池田 浩也1,2 (1.静大院工、2.静大電研)