13:30 〜 15:30 [19p-PA4-16] UHVスパッタエピタキシー法によるGaN単結晶層の成長(2) 〇岩元 正紀1、長田 拓也1、水野 愛1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)