10:00 〜 10:15 △ [20a-437-5] マグネトロンスパッタリングと容量結合プラズマを用いたコアシェル微粒子の生成 〇小山 寛1、高橋 和生2、佐々木 浩一1 (1.北大工、2.京都工繊大)