古賀祥泰

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発表者・著者、共著者

2018年9月20日(木) 13:15 〜 19:30 222 (222)

一般セッション(口頭講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.2 カーボン系薄膜

[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

15:30 〜 15:45

[20p-222-10] 常温接合によるダイヤモンドBOX層SOIウェーハの検討2
-ＴＥＧ作製による電気特性評価-

〇古賀祥泰¹、栗田一成¹ (1.株式会社　ＳＵＭＣＯ)