堀切文正

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発表者・著者、共著者

2018年9月20日(木) 13:45 〜 17:15 331 (国際会議室)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[20p-331-1~13] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

15:30 〜 15:45

[20p-331-7] GaNの光電気化学(PEC)エッチング機構

〇堀切文正¹、成田好伸¹、吉田丈洋¹ (1.サイオクス)

16:00 〜 16:15

[20p-331-9] GaN の光電気化学(PEC)エッチングが有する可能性
(1) 深堀りによる構造体の作製

〇堀切文正¹、太田博²、浅井直美²、成田好伸¹、吉田丈洋¹、三島友義² (1.サイオクス、2.法政大)