16:30 〜 16:45 [21p-135-14] 分子動力学法によるシリコン酸化膜へのシリカ砥粒付着挙動解析 〇増谷 浩一1、大渕 真志1、濵田 聡美1、三上 益弘2、高東 智佳子1 (1.荏原製作所、2.慶應大理工)