Meiyong Liao

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発表者・著者、共著者

2018年9月21日(金) 13:15 〜 18:00 232 (232)

一般セッション(口頭講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.2 カーボン系薄膜

[21p-232-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

17:30 〜 17:45

▲ [21p-232-17] Ultrahigh quality factors single crystal diamond MEMS resonators

〇Meiyong Liao¹、Haihua Wu¹、Liwen Sang¹、Masataka Imura¹、Tokuyuki Teraji¹、Yasuo Koide¹ (1.NIMS)