13:00 〜 13:15 [21p-233-1] ミニマルレーザ加熱装置により加熱プロファイルを変えて形成した熱酸化膜の電気的特性 〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、池田 伸一1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱)