13:30 〜 15:30 [21p-PB1-9] エチレンプラズマ中でのアモルファス炭素膜の堆積反応の赤外分光計測,他の炭化水素プラズマとの反応の違い 〇篠原 正典1、冨永 泰佑1、下村 勇登1、猪原 武士1、柳生 義人1、大島 多美子1、川崎 仁晴1 (1.佐世保高専)